ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ → Оборудование для химической промышленности *Транспортирование опасных химикатов см. 13.300 → Оборудование для химической промышленности прочее
ГОСТ 25661-83. Установки для финишной очистки воды. Общие технические требования
Настоящий стандарт распространяется на установки финишной очистки воды, предназначенные для деионизации воды с последующей стерилизацией и очисткой от микрочастиц и микроорганизмов непосредственно на месте использования при производстве изделий микроэлектроники 4 степени интеграции
| Название на англ.: | Installations for final water treatment. General technical requirement |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 2 |
| Дата актуализации текста: | 22.03.2010 |
| Дата актуализации описания: | 22.03.2010 |
| Дата издания: | 01.10.2003 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1984 |
| Дата последнего изменения: | 23.06.2009 |
| Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
