Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → Полупроводниковые материалы
ГОСТ 26239.7-84. Кремний полупроводниковый. Метод определения кислорода, углерода и азота
Настоящий стандарт устанавливает метод определения кислорода, углерода и азота в полупроводниковом кремнии с использованием активации ускоренными ионами и протонами
| Название на англ.: | Semiconductor silicon. Method of oxygen, carbon and nitrogen determination |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 19 |
| Дата актуализации текста: | 22.03.2010 |
| Дата актуализации описания: | 22.03.2010 |
| Дата издания: | 21.01.1985 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1986 |
| Дата последнего изменения: | 23.06.2009 |
