Общероссийский классификатор стандартов → ЭЛЕКТРОТЕХНИКА → Полупроводниковые материалы
ГОСТ 26239.1-84. Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане
| Название на англ.: | Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 19 |
| Дата актуализации текста: | 22.03.2010 |
| Дата актуализации описания: | 22.03.2010 |
| Дата издания: | 21.01.1985 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1986 |
| Дата последнего изменения: | 23.06.2009 |
