Общероссийский классификатор стандартов → ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ *Измерение потока жидкости см. 17.120 → Вакуумная технология *Включая вакуумные насосы
ГОСТ 25662-83. Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний
Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций
| Название на англ.: | Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 10 |
| Дата актуализации текста: | 22.03.2010 |
| Дата актуализации описания: | 22.03.2010 |
| Дата издания: | 01.06.1984 |
| Дата введения в действие: | 01.01.1984 |
| Дата последнего изменения: | 23.06.2009 |
| Переиздание: | переиздание с изм. 1 |
