База данных ГОСТ

Общероссийский классификатор стандартовГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ *Измерение потока жидкости см. 17.120Вакуумная технология *Включая вакуумные насосы

ГОСТ 25196-82. Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники

Название на англ.: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Тип документа: стандарт
Статус документа: действующий
Число страниц: 3
Дата актуализации текста: 22.03.2010
Дата актуализации описания: 22.03.2010
Дата издания: 04.05.1982
Дата введения в действие: 01.07.1983
Дата последнего изменения: 23.06.2009